将一定空间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、**等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。由以上之定义，我们可知构成洁净室须俱备以下各项因素：1.能除去空气中飘游之微尘粒子；2 .能防止微尘粒子之产生；3 .温度和湿度之控制；4 .压力之调节；5 .有害气体之排除；6.结构物与隔间之气密性；7 .静电之防制；8 .电磁干扰之预防；9 .**因素之考虑；10.节能之考量。
洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性已经实践证明无可担心。当前改进主要是：
（1）取均流及减少噪音的措施，噪音可在52db以内；
（2）动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率<1P）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75%～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。
（3）但FFU出口静压不能过大，一般采用出口风速0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。