潔凈室國家標準GB50073-2001
■ 潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級
空氣潔凈度等級(N) | 大于或等于表中粒徑的*大濃度限值(pc/m3) |
| 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um |
1 | 10 | 2 | | | | |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | | |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | | | | 352000 | 83200 | 2930 |
8 | | | | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | | | | 35200000 | 8320000 | 293000 |