净化棚的运作原理：风机从FFU顶部将空气吸入，经初效过滤器、过滤后的清理空气在整个出风面以0.45m/s±20%的
风速匀速送出到清理棚内。形成均流层，使清理空气气流呈垂直单向流，从而保证了运作区内所要求的清理度。

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