美国联邦标准209E
美国联邦标准209E
无尘室洁净度参照标准 |
■ 美国联邦标准（USA FederalStandard）209E（1992年） 洁洁净度等级 | 粒径(um) | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 | 1 | 35.0 | 7.50 | 3.00 | 1.00 | NA | 10 | 350 | 75.0 | 30.0 | 10.0 | NA | 100 | NA | 750 | 300 | 100 | NA | 1000 | NA | NA | NA | 1000 | 7.0 | 10000 | NA | NA | NA | 10000 | 70.3 | 100000 | NA | NA | NA | 100000 | 700 |
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