压阻式压力传感器的结构
通常运用的压力传感器量程是10bar 理论*高供水可以到100米左右 。压阻式压力传感器属于压力传感器的一种。
压阻式压力传感器这种压力传感器运用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯
片的周围固定封装于外壳之内，引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式
应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一边是与被测压力
连通的高压腔，另一边是与大气连通的低压腔。硅膜片通常设计成周围固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。
在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对
于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条 ，两条受拉应力的电阻
条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。
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