燃烧式废气处理系设备 NITSU

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产品型号：NITSU

品牌：日本木麒制作所

公司名称：上海怀利环保设备有限公司

所在地：上海长宁

发布时间：2009-01-08

浏览次数：1236 次

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产品简介

Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备新型薄膜太阳能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程专用燃烧式尾气处理设备。Kiki NITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』Kiki SEISAKUSYO累积多年经验及制作研���上的深厚基础上, 参酌*新世界**规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来*适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制

产品详细信息

　　　　　　　　Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备

新型薄膜太阳能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程专用燃烧式尾气处理设备。

KikiNITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』KikiSEISAKUSYO累积多年经验及制作研发上的深厚基础上, 参酌*新世界**规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来*适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程尾气处理的新型燃烧式处理设备。

Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的用途

可处**体种类包括非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程中产生的废气。

Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的主要特点：

1. 全机整体新思维**设计, 高**标准自我诊断异常及意外预防应对规格, 同时通过了德国TUV*新SEMI S2, SEMI S8, EN 60204-1: 2006认证。

2．独特涡流火焰燃烧器, 拥有处理量特大﹑处理效率优异﹑及长时间运转之*高稳定信赖性。

3．CH₄﹑C₃H₈双燃料机型, 具燃料节约控制设计, 符合经济节能与环保要求。

4．良好机械架构设计与人机界面程序, 操作容易上手、停机保养频率低、保养简单快速、零料件经久耐用等众多优点.

5．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定, 特别适合应用于非晶硅薄膜太阳能电池、大尺寸液晶生产等之高SiH₄、 PH₃及NF₃、SF₆气体使用, 并大量产出SiO₂、P₂O₅易衍生粉尘堆积及大量高浓度HF酸腐蚀气体的PECVD制程尾气处理。

Kiki NITSU主要气体处理反应

REACTION	POWDER (g/l)
2H₂ + O₂ → 2H₂O
B₂H₆ + 3O₂ → B₂O₃ + 3H₂O	3.11
4NH₃ + 3O₂ → 2N₂ + 6H₂O
2NF₃ + 3H₂ → 6HF + N₂
4NF₃ + 3CH₄ + 3O₂ → 2N₂ + 3CO₂ + 12HF
2PH₃ + 4O₂ → P₂O₅ + 3 H₂O	3.17
SiH₄ + 2O₂ → SiO₂ + 2 H₂O	2.68
2Si₂H₆ + 7O₂ → 4SiO₂ + 6H₂O	5.36
Si3H₈ + 5O₂ → 3SiO₂ + 4 H₂O	8.06
SiH₂Cl₂ + O₂ → SiO₂ + 2HCl	2.68
2WF₆ + 6H₂ + 3O₂ → 2WO₃ + 12HF	10.35
2WF₆ + 3CH₄ + 5O₂ → 2WO₃ + 3CO₂ + 12HF	10.35
2SF6 + 6H2 + 3O2 → 2SO3 + 12HF
2SF₆ + 3CH₄+5O₂ → 2SO₂ + 3CO₂ + 12HF
F₂ + H₂ → 2HF
2F₂ + CH₄ + O₂ → 4HF + CO₂
Si(C₂H₅O)₄+12O₂ → SiO₂ + 8CO₂ + 10 H₂O	2.68
C₂F₆ + 3H₂ + 2O₂ → 6HF +2 CO₂
2C₂F6 + 3CH₄ + 7O₂ → 7 CO₂ + 12HF
N₂O + H₂ → N₂+ H₂O
4N₂O + CH₄ → 4N₂ + 2H₂O + CO₂