洁净厂房的设施分为哪几类呢？

洁净厂房的设施分为哪几类呢？ 
1.空气净化设备（制冷设备、空调机组、风淋室、过滤器、工作台、FFU） 
2.洁净室系统（地板天花、吊顶、龙骨、门、窗、灯具… 
3.工艺介质供应系统：纯水、高纯气体、特气、化学品…… 
4.微振控制及经典防护 
5.洁净服、洁净室用品：洁净室消耗品 
6.检测仪器 
7.环保设备：废水处理

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