等离子清洗机的具体维护方式:
1.自检真空泵油位和油的纯度，每月自检真空泵油位和油的纯度，观察油位窗口。当油位接近*低红线刻度时，添加到油红标线上下之间；观察油的颜色。正常油干净透明。当油浑浊(油颜色变灰或油位窗口模糊)，真空泵噪音异常时，及时更换真空体油。
2.在线等离子清洗机清洗反应室。先用脱脂棉布沾上无水乙醇(俗称酒精)擦拭真空腔(不要用乙醇擦拭反应腔观察玻璃)。**腔导入气体(氩+氧或氮+氧)，用等离子反应**腔内残留物。每月至少除理一次，除理时段约为10分钟。
3.等离子清洗机要查塑料管子的完好性和真空体密封性，自检设备的完好性。完全清洁反应室后，应避免污染物泄漏到空腔中。自检反应室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否连接紧固，是否老化。
4.查电源的真空等离子清洗机，电压是否与设备匹配。
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