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洁净度和尘埃粒子数 净化工程网

      洁净度和尘埃粒子数 净化工程网

洁净度100级:
 
大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);
大于等于5μm的尘粒数为0。
 

洁净度1000级:
 
大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);
大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
 

洁净度10000级:
 
大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);
大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
 

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