物品进入半导体无尘车间的流程 净化工程网：室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内*终清洁→传入洁净室内
þ 首先，室外、缓冲间（或临时缓冲走廊）、洁净室内各有一支搬运组（共三组）候命，这三组人员根据各自的环境身着不同的服装：室外身着普通工作服，缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套，洁净室内身着完整的洁净服，带有口罩和手套等，这三组人互不能进入其它人的工作区域。
þ 当有设备、物品需要运输时，首先室外组人员对物品进行预清洁，然后打开缓冲间室外侧的门（或设备预留进出外门），将物品传入缓冲区。必须保证，在打开缓冲间室外侧门（或设备预留进出外门）时，洁净室侧的门处于关闭状态。
þ 缓冲区（或临时缓冲走廊）的那组人员对物品进行*终的清洁，并用干净的洁净布检测合格后，打开洁净室侧的门，将物品传入洁净室内。如此才规范的完成了物品传送和清洁的过程。
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