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无尘室的应用范围
无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定需要之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室*主要之作用在于操控产业(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产业能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例, 无尘室无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分指标的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是操控在一个非常微量的单位上。当然这个指标中符合灰尘指标的颗粒相对我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产业的生产上,无尘是必然的需要。
如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量操控在3500个以下,就达到了国际无尘指标的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘指标对灰尘的需要高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格操控在每立方米1000个��内,这也就是业内俗称的1K级别。
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