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无尘室测试规范

无尘室测试规范
在測試無塵室之前，若是能對測試規範、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解，對測試當有幫助。這裡是一些背景資料，提供給讀者參考。 　

有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準，在網路上用〝contamination control〞搜尋，可以找到很多相關資料。無塵室的定義，*早是在美國聯邦標準209上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。在歐洲與日本，隨著工業的日益發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代後期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，於是有ISO-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規範。

1. Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯邦標準209E，209的出版發行，是在1960年代，之後不斷改版以因應科技進步與工業發展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的*後一版209E 。在2001 年11月29 日，美國正式宣佈廢止209E ，改用ISO-14644，於是209E在書面上走入歷史。但是在產業界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、台灣、與許俊宇博士均衡科技有限公司。

中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的製造商，雖然都推出滿足公制計數法的新機型，但是要等舊機器完全淘汰，恐怕還要很長時間，因此新規範ISO-14644還沒能取代209E 。

2. ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國際標準ISO14644 。14644 系列有8 個子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關設備等，範圍很廣。有些主題已經定案，如Part1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒有，讀者可以到ISO 或IEST 的網站上訂購。

3. JIS B9920 (1989) ：日本的潔淨標準，規定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔淨度的等級定義。

4. VDI 2083 (1993) ：德國的潔淨標準，規定潔淨度等級的定義方式，以及潔淨度的量測技術。

5. Gost-R 50766 (1995)：俄國的潔淨標準，定義無塵室的分類與一般需求。以上是無塵室等級規定，與潔淨度量測的相關標準。另外有關無塵室污染控制〈也就是潔淨度控制〉，和環境控制〈如溫溼度、震動噪音等〉，也有一些重要的測試規範，因為這些環境影響因素，都包含在無塵室性能測試的範圍之內。

6. IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規範，目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測，006包括了風速風量、濾網洩漏、潔淨度、溫溼度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006的**版稱為00684-T，006.2是**版。現在由於 NEBB 的興起，0062 已經功成身退，逐漸消失了。

7. NEBB 無塵室測試規範**版：這是目前*廣為流行的測試規範，提到無塵室認證，就非 NEBB 莫屬。NEBB無塵室測試規範，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋範圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB無塵室測試規範的出現，解決了不少測試的爭議，也因此 NEBB 無塵室測試規範成功的成為產業標準。

8. ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3三個子題，是有關無塵室裡面生物污染的控制，目前都只有初稿。每一種行業，甚至每一家公司或工廠，對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規範，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴格來講，這些規範也只是一個參考。各公司在訂定測試規格時，應依照自己的製程需求，在上述規範裡取出自己適用的部份，並要求供應商與測試單位照辦，必要時可以酌情修改測試標準，才能真正滿足自己的需求。

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