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新型超纯水TOC降解器
]资料
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产品名称:
新型超纯水TOC降解器
产品型号:
EW-TOC
产品厂商:
有为
简单介绍
新型超纯水TOC降解器采用目前国际上*先进的高光强172nm单波长准分子紫外灯,彻底克服了市场上现有TOC降解器采用传统185nm低压汞灯因光强极低而造成的降解效果差的技术瓶颈,可有效地用于电子工业超纯水TOC降解和**臭氧.灯管使用寿命高达5万小时,降解器腔体采用316L不锈钢,内外镜面抛光设计.处理流量可随用户要求定制.
新型超纯水TOC降解器的详细介绍
高强度172nm准分子紫外灯简介:
波长为172 nm的真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，是一系列化学反应和表面加工处理过程的基础：
有机物的分解和氧化。
光化学气相沉积(Photo-CVD)。
表面改性，如电子薄膜性能的改善。
表面活化。
准分子紫外光源的光强输出高达传统低压汞灯的1000倍，使处理时间大大缩短，加工过程大大加快。
高强度172nm紫外光源可应用于半导体制造业：
表面清洗。高能紫外光子与氧气作用产生臭氧和氧的活性基团，使有机物氧化而清洁表面，并使表面分子键激活。
光化学气相沉积。生长各种无定形的电子薄膜，如高介电常数Ta2O5和HfO2等。
改善化学结构。对SiO2进行处理以改善其化学计量性。
表面激活，以增加表面张力和湿润性。
有为研制的高强度准分子紫外单色光源可根据需要设计不同的光照面积，使大面积的加工处理过程大幅度加快。
清洗一片晶圆所需照射时间仅为几秒钟。
有为准分子紫外光源的特点：
光子能量高达7.2 eV
非相干光有利于大面积加工
高强度
瞬间开启和关闭光源，不需预热
照射面积可根据客户要求定制
有为光子─ ****家开发应用高强度准分子紫外光子技术的专业公司
有为光子在紫外光子发生技术领域有丰富而广泛的经验。
除了用于产生臭氧和生产超净水的172 nm准分子灯以外，还可以提供其它高强度单色光源，如222和308 nm，用于****，光化学和干燥固化过程.
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