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洁净室过度建设和过高标准的现状即将成为过去
洁净室过度建设和过高标准的现状即将成为过去
 
     目前Lawrence Berkeley Labs能源项目的研究员及经理Tengfang（Tim）Xu有办法改变现状。“理论上讲，气流速度每提高10%，风扇的能耗将增加30%。如果将各种设备等比例缩减到足够维持污染控制的*低能耗，将节省大量的能源。”作为环境科学与技术学院（IEST）“走近专家”系列课程的一部分，Xu*近通过网络开设了“洁净室设计与运营的可持续发展问题”。课程针对洁净室和微环境（ME）的规划、设计、建设、运营直到退出，从可持续发展角度提出了一些列建议和指导方针。

　　生产设备通常消耗整个洁净室1/3的能量，冷却和泵浦系统再消耗20%，空气循环系统消耗另外的20~30%。剩余的部分用于支持去离子水和其它生产用水的水泵、排气扇、氮气生成设备及其它辅助设备。洁净室不同区域实际空气流速和气体交换率可以存在很大差别，有些区域要求单向气流，而其它区域则不然。
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