世界一些国家公布的洁净室标准年表：

公布时间     各国标准 

1961.3      美国空军技术条令TO.00-25-203 

1963.7      美国空军技术条令TO.00-25-203**次修订本 

1963.12     美国联邦标准FS—209 

1964以前   苏联标准(计重法) 

1965.8      美国空军技术条令TO.00-25-203**次修订本 

1965        苏联标准CH317—65(计数法) 

1966.6前    联邦德国标准 

1966.8      美国联邦标准FS—209A 

1967.8      美国国家航空与航天管理局NASA标准NHB5340.2 

1968       民主德国标准 

1972       法国标准ASPEC，Communication7202 

1973.4      美国联邦标准FS—209B 

1973        苏联标准OCT11Ⅱ-170-050.001-73 

1975         日本工业标准B9920 

1976.5      美国联邦标准FS—209B修订 

1976,1977    联邦德国标准VDI2083 

1976       英国标准 

1976       澳大利亚标准 

1984      中国标准《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84 

1987.10    美国联邦标准FS—209C 

1988      日本工业标准JIS B9920洁净室悬浮微粒的测定方法和洁净室洁净度的评价方法（修订案） 

1988      日本空气洁净协会标准 

1988.6    美国联邦标准FS—209D 

1992.11   美国联邦标准FS—209E 

1996     俄罗斯标准GOSTR 50766-95 

1999.5    国际标准ISO14644-1 

2001.11   中国标准GB 50073-2001

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