洁净室是环境破坏操控的基础,没有洁净室,环境破坏敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以操控空气悬浮粒子浓度,从而达到适当的粒子洁净度级别。
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
本产品是指将一定空间范畴内之空气中的粒子子、有害空气、**等之环境破坏物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电操控在某一需求范畴内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
本产品*主要之作用在于操控洁净(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使洁净能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
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