一. 洁净厂房内的各种产品生产过程中不可避免地将会有各类粉尘、有害气体、有害物质的排出，防止它们在洁净室内发散、污染的有效方法是将有害物质在产生的设备处采取局部排风方式排至室外，为此在《洁净厂房设计规范》中规定：洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。根据各类工艺设备产生的粉尘、有害气体、有害物质的不同性质、不同浓度等因素设置局部排风装置，对于如下情况的局部排风系统应单独设置。

　　1. 排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染;

　　2. 排风介质中有毒与无毒，毒性相差很大;

　　3. 易燃、易爆与一般排风。

　　二. 洁净室的排风系统设计时，应采取下列技术措施。

　　1. 为防止室外气流倒灌，防止在洁净室的净化空调系统停止运行时，室外空气倒灌流入室内，引起污染和积尘。工程中常用的防倒灌措施是a。采用设置中效过滤器，这种方式结构简单、维护方便;b。采用止回阀，使用方便，但密封性较差;c。采用密闭阀，密封性好，但结构复杂，管理不便;d。采用自控装置。

　　2. 含有易燃、易爆局部排风系统应采用与排出物质相适应的防火、防爆措施。

　　3. 排风介质中有害物质浓度及排放量超过国家或地区有害物排放量规定时应进行无害化处理，达标后才能排入大气。

　　4. 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排放口，以及排除凝结液。

　　洁净厂房内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。

　　洁净室应根据生产工艺要求设置事入排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。一般对于有可能散放有害气体或易燃易爆气体的洁净室(区)应设事故排风装置。