一、FFU的简介

　　FFU英文全称为(Fan Filter Unit)，中文专业用语为风机过滤机组。

　　FFU风机滤网机组可模块化连接使用，使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。

　　FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。适用于在各种环境中获得**别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。

　　二、FFU特点

　　1.风机采用德国ebm直驱式高效离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性，风机质量可靠，工作寿命长达5小时或以上。

　　2.特别适合于组装成超净生产线，可根据工艺需要布置为单台使用，也可将多台串联形成100级流水装配线。

　　3.壳体结构选用不锈钢、铝合金、冷轧钢板材料制造，重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。

　　4.产品出厂前均按美国联邦标准209E，METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测，确保质量。

　　三、FFU的应用

　　FFU(Fan Filter Unit)，是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口，它与其专用龙骨系统(CeilingGrid)、冷却盘管(一般为干盘管)、加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。

　　FFU的使用方式是新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统*为常用于有超静要求的洁净室，如大型集成电路晶圆的制造、**显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。

　　其优点如下：

　　1、系统非常灵活，可随时调整

　　因洁净室的壁板都以天花板格子的模数(如1200*600)来布置，并且由于其特殊的节点构造，洁净室的壁板可以随时调整位置，以此改变房间的布局。同时如果房间的洁净度需要调整，可以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。

　　2、出风均匀稳定

　　FFU因自带风机，出风均匀而稳定。避免了集中送风系统各送风口风量平衡的问题。对于垂直单向流洁净室尤为有利。

　　3、节能显著

　　FFU系统风管很少，除新风以风管送达外，大量的回风以小循环的方式在运行，因此大大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般为0.35~0.45m/s,过滤器阻力小,FFU的无壳风机功率很小,新型的FFU采用了高效率电动机,同时对风机叶轮形状也进行了改进,其综合效率以大为提高。据笔者估算，FFU系统一般可比集中送风的净化系统节能30%以上，使FFU系统在二、三年内就可通过节省电费把增加的初投资部分(与集中送风的净化系统相比)省回来。

　　4、节省空间

　　因省去了巨大的送回风管，故可节省安装空间。对于层高紧张的改建项目非常合适。带来的另一个好处因风管很少空间相对宽敞而使工期缩短。

　　5、风口、灯具、烟感、喷淋、静电中和器等的合理布局

　　这些洁净室常用装置都在上有各自的安装天花板格子位置，既合理又美观。而在集中送风的净化系统里这些装置的布局经常冲突，吊顶显得拥挤不堪。

　　6、负压密封

　　FFU送风系统的静压箱为负压，因此即使风口安装存在泄漏，也是从洁净室向静压箱泄漏，不会形成对洁净室的污染。

　　FFU系统也有缺点：风机数量大，故障机率大。且因FFU布置在吊顶上，维修有一定困难。而集中风系统因设备较为集中，数量也少，易于维护。但这也不完全是缺点：FFU系统正是因为数量众多而分散，通常少量的FFU出现故障，并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障，就会造成大面积的洁净室停止运行，对生产的影响很大。在几乎所有的项目中，冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵抢救无效都可以做到备份，尽量减少设备故障对生活的影响。唯独空调箱的备份几乎没用。FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。